气体流量单位scfh（sccm是啥气体流量单位）

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sccm：

标准毫升/分钟

s：stand 标准 表示标况下

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cc：毫升

m：minute 分钟

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slm：

标升/分钟

s：stand 标准 表示标况下

l：升

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m：minute 分钟

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