深紫外光刻机与euv光刻机的区别（深紫外光刻）

当前大家对于深紫外光刻都是颇为感兴趣的，大家都想要了解一下深紫外光刻，那么小美也是在网络上收集了一些关于深紫外光刻的一些信息来分享给大家，希望能够帮到大家哦。

1、深紫外光刻，采用反射光照射的非成像方式，用椭圆反射镜把波长在180～260纳米的深紫外光通过平管透镜聚集成平行光照射在掩模版上，使掩模版的图像复印到基片上的光刻技术。

2、可用作亚微米级精细图形的加工方法。

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